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电子行业点评：光刻机出口限制放宽，利好上游设备与材料

报告核心内容

2023年9月1日发布的行业点评报告指出，ASML宣布将在2023年底前向中国大陆客户出口先进浸没式DUV光刻机，包括TWINSCAN NXT:2000i及更先进的型号，但EUV光刻机仍处于禁运状态。自2023年9月1日起，上述先进设备将难以获得出口许可证。

此次出口政策的调整，不仅优于此前市场预期，还显示出中国大陆客户可以接收套刻精度与产率更高的光刻机，同时延长了出货时间窗，有助于获得更多设备。这为国内晶圆厂的扩产提供了重要支持，缓解了行业的燃眉之急。

主要观点

1. 光刻机出口限制放宽，利好国内晶圆厂扩产

• 制裁情况优于预期：荷兰对华限制出口“最先进”的DUV光刻设备，但ASML明确表示，中国大陆客户可获得NXT:2000i及之后的先进设备，而非完全禁运。
• 设备性能提升：NXT:2100i相较于NXT:1980Di，套刻精度（DCO）从1.6nm提升至0.8nm，MMO（混合套刻精度）从2.5nm提升至1.3nm，产率从275wph提升至295wph，整体性能更优，尤其适用于DRAM制造。
• 国内晶圆厂积极采购：2023年第二季度，ASML确认收到39台浸没式DUV设备，中国大陆客户订单占比达24%，显示出国内晶圆厂对先进光刻机的强烈需求。

2. 从长期看，光刻机自主可控仍是大势所趋

• 高端光刻机未来断供：尽管当前限制有所放宽，但2024年起高端光刻机将面临更严格的出口管制，未来国内晶圆厂将更依赖国产设备与材料。
• 供应链自主化趋势明显：光刻机零部件成本占比超过50%，国内供应商将在整机自研、备件更换等方面扮演更重要角色。
• 国产替代空间广阔：随着国内产能逐步爬坡，预计到2025年，8英寸和12英寸晶圆的自主产能占比将提升至17%，推动产业链自主可控。

关键信息

• 光刻机性能指标：分辨率、套刻精度、产率是衡量光刻机性能的三大核心指标。
• ASML设备收入情况：2023年第二季度，ASML来自中国大陆的收入约13.5亿欧元，同比增长225%，环比增长215%。
• 在手订单情况：截至2023年第二季度末，ASML积压订单达380亿欧元，其中中国大陆订单占比超过20%。
• 未来产能增长：预计2023-2025年，中国大陆晶圆产能将分别同比增长18.8%、19.6%、17.4%。

投资建议

建议关注的标的

• 半导体设备：北方华创、中微公司、芯源微、拓荆科技、华海清科
• 半导体材料：雅克科技、华特气体、华懋科技、彤程新材、南大光电
• 光刻机产业链：福晶科技（9月金股）、茂莱光学、福光股份、奥普光电

风险提示

• 市场竞争加剧：半导体设备与材料领域竞争激烈，可能影响企业盈利能力。
• 研发不及预期：国产设备与材料技术突破可能面临不确定性。
• 半导体下行周期：若行业进入下行周期，晶圆厂扩产可能受阻，影响设备需求。

投资评级

• 公司投资评级：

  • 买入：未来六个月投资收益相对沪深300指数涨幅10%以上
  • 持有：未来六个月投资收益相对沪深300指数涨幅-10%~10%之间
  • 卖出：未来六个月投资收益相对沪深300指数跌幅10%以上

• 行业投资评级：

  • 增持：未来六个月行业增长水平高于同期沪深300指数
  • 中性：未来六个月行业增长水平与同期沪深300指数相若
  • 减持：未来六个月行业增长水平低于同期沪深300指数

图表信息

表1：ASML现有浸没式DUV设备及相关参数

研究团队介绍

• 首席分析师：赵晓琨，拥有16年消费电子及通讯行业经验，曾任职于华为、阿里巴巴、摩托罗拉、富士康等企业，长期专注于半导体及硬科技、智慧汽车及机器人、新能源等领域。
• 分析师：刘牧野，约翰霍普金斯大学机械系硕士，2022年加入中航证券，专注于高端制造与硬科技领域研究。

联系信息

• 销售团队：
  • 李裕淇：18674857775，liyuq@avicsec.com，S0640119010012
  • 李友琳：18665808487，liyoul@avicsec.com，S0640521050001
  • 曾佳辉：13764019163，zengjh@avicsec.com，S0640119020011

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