深度报告-20251126-东吴证券-屹唐股份-688729.SH-前道设备隐形冠军_平台化布局去胶_RTP_刻蚀设备_32页_2mb

屹唐股份深度研究总结

公司核心业务与战略

• 屹唐股份成立于2015年，专注于集成电路前道制造设备的高端制造，核心产品包括干法去胶、干法刻蚀、快速热处理（RTP）及等离子体表面处理设备。
• 通过并购美国MTI，快速整合核心技术与客户资源，形成覆盖全球化三大设备平台的产品布局，加速国产化进程。

技术优势与市场份额

• 干法去胶设备：全球市占率34.60%，全球第二，产品广泛应用于DRAM、3D NAND、逻辑芯片等。
• RTP设备：采用双面加热、毫秒级退火等核心工艺，全球市场份额13.05%，全球第二。
• 干法刻蚀：以0.21%市占率进入全球前十，产品覆盖存储、逻辑芯片核心工艺，与国内其他企业构成“国产三驾马车”。

市场与财务表现

• 财务：2024年营收46.33亿元，净利润5.41亿元，毛利率达37.4%，刻蚀设备毛利率加速提升。
• 增长驱动：高端客户持续合作及新产品例如Optima系列、RENA-E设备批量交付，国内“国产替代”与国际逻辑、存储产能扩张是主要驱动力。

核心技术壁垒

• 掌握远程ICP等离子体源、双晶圆反应腔、动态温控等核心技术，广泛用于刻蚀、去胶、RTP设备，具备平台化扩展潜力。
• 技术团队国际化，核心成员来自美日半导体设备巨头，为产品迭代和本土化应用提供支撑。

估值与评级

• 首次覆盖“增持”评级，2025–2027年动态PE为109/84/58倍，高于行业均值。
• 基于业务市占率提升、平台化技术布局、本土产能扩张，长期估值支撑较强。

风险因素

• 下游需求波动、替代进度不及预期、竞争加剧可能影响盈利空间。

总结

屹唐股份在中国半导体设备国产替代浪潮中，凭借三大核心设备平台覆盖去胶、RTP、刻蚀工艺，技术扎实、业绩稳健、市占率全球前二，具备“独角兽”企业的成长潜力。