20211211-光大证券-至纯科技-603690.SH-系列跟踪报告之二_公司技术路线对标国际大厂SCREEN_有望成为高端湿法设备的领先者_5页_563kb

至纯科技（603690.SH）系列跟踪报告之二总结

核心内容

至纯科技是国内半导体湿法设备的龙头企业，其单片清洗技术对标国际大厂SCREEN，采用Nano Spray方案，有望在高端湿法设备市场占据领先地位。随着半导体工艺向28nm及以下节点发展，单片清洗设备因更高的颗粒去除效率（PRE）逐渐取代槽式清洗设备，成为行业主流。

主要观点

• 技术路线：至纯科技采用Nano Spray技术，该技术为国际主流，能够满足28nm节点的全部湿法工艺需求。
• 市场地位：目前全球半导体清洗设备市场主要由SCREEN、TEL、SEMES和LAM等国际大厂主导，至纯科技正逐步在国内市场获得认可。
• 订单与交付：公司已获得多个主流客户的订单，预计2021-2022年湿法设备订单可达12/20亿元，其中单片清洗设备收入占比将逐步提升至50.36%。
• 盈利预测：公司预计2021-2023年归母净利润分别为3.47亿、3.81亿和5.55亿元，对应PE分别为49x、44x和30x，维持“买入”评级。

关键信息

半导体清洗设备市场

• 半导体清洗设备分为干法和湿法，其中90%以上使用湿法工艺。
• 湿法清洗设备包括槽式清洗和单片清洗，单片清洗因更高的清洁效率正逐步取代槽式清洗。
• 单片清洗设备包括清洗机、刷片机和刻蚀机，其中清洗机用于去除颗粒、有机物、自然氧化层、金属杂质等污染物。

技术对标

• SCREEN是最早开发和使用Nano Spray技术的厂商，其技术更新提升了芯片良率。
• 至纯科技采用Nano Spray方案，与国际大厂技术路线一致，具有较强竞争力。

订单与交付情况

• 2021年下半年将交付7台套12寸槽式设备和8台套12寸单片设备至中芯、华虹集团、燕东科技等客户。
• 14-7nm技术世代已获得4台套机台多个工艺的正式订单，预计2022年交付验证。

盈利预测与估值

指标	2019	2020	2021E	2022E	2023E
营业收入（百万元）	986	1,397	2,307	3,266	4,159
净利润（百万元）	110	261	347	381	555
EPS（元）	0.43	0.85	1.09	1.20	1.74
PE	125	63	49	44	30
PB	9.3	5.2	4.9	4.5	4.0

风险提示

• 国产化进度不及预期
• 晶圆厂扩张不及预期
• 技术研发不及预期

公司财务表现

主营业务拆分与预测

主营业务	2020（百万元）	2021E（百万元）	2022E（百万元）	2023E（百万元）
高纯工艺系统	863.19	1122.15	1346.58	1615.89
半导体设备	217.85	768.00	1390.00	1867.50
光传感及光器件	314.66	409.06	511.32	639.15
其他业务	1.36	7.80	18.20	36.40

主要财务指标

指标	2019	2020	2021E	2022E	2023E
毛利率	34.3%	36.8%	37.4%	37.5%	40.0%
归母净利润率	11.2%	18.7%	15.0%	11.7%	13.3%
ROE（摊薄）	7.4%	8.3%	10.1%	10.1%	13.1%
资产负债率	54%	47%	48%	53%	56%
流动比率	1.72	2.07	2.15	1.97	1.79
速动比率	1.22	1.63	1.63	1.51	1.39

费用率

费用率	2019	2020	2021E	2022E	2023E
销售费用率	3.70%	3.90%	3.90%	3.90%	3.90%
管理费用率	8.70%	9.85%	9.00%	9.35%	9.70%
财务费用率	4.09%	5.46%	3.38%	3.06%	2.76%
研发费用率	5.99%	6.84%	6.90%	7.00%	7.50%

结论

至纯科技凭借其对标国际大厂的单片清洗技术，有望在高端湿法设备市场实现快速发展。随着国内客户导入和单片清洗设备的逐步放量，公司未来增长潜力显著，维持“买入”评级。