> **来源：[研报客](https://pc.yanbaoke.cn)** # 先进封装设备重要性提升，晶圆制造设备持续升级总结 ## 核心内容概述 2026年3月25日至27日，2026上海国际半导体展览会（SEMONChina 2026）在上海新国际博览中心举办。展会聚焦于半导体设备的最新进展，尤其在**先进封装设备**和**晶圆制造设备**领域，展示了国内企业在技术创新和产品竞争力方面的显著提升。 ## 主要观点 ### 1. 先进封装设备重要性提升 - **行业趋势**：随着3D集成、Chiplet异构集成、HBM等技术的发展，先进封装设备成为半导体产业链中的关键环节。 - **厂商布局**：头部设备厂商正集中发力先进封装设备领域，推动产品和技术突破。 - **代表企业**： - **北方华创**：发布12英寸Qomola HPD30混合键合设备，成为国内首家完成D2W混合键合设备客户端工艺验证的企业。 - **拓荆科技**：推出3D IC系列新品，包括熔融键合、激光剥离等设备，其中Pleione 300 HS具备自动更换拾取与键合模组的功能，Volans 300解决键合空洞修复问题。 - **ASMPT**：推出ALSI LASER1206裸晶圆处理系统，精准响应先进封装企业需求，支持AI、智能出行等高增长市场。 ### 2. 晶圆制造设备持续升级 - **技术进步**：刻蚀、薄膜沉积等关键工艺设备持续升级，以满足先进逻辑与存储芯片制造需求。 - **国产替代**：国内企业正强化创新布局，提升产品竞争力，推动国产化替代进程。 - **代表企业**： - **北方华创**：发布新一代12英寸NMC612H ICP刻蚀设备，提升深宽比与均匀性至埃米级。 - **中微公司**：推出Primo Angnova和Primo Domingo等新一代ICP刻蚀设备，适用于5纳米及以下逻辑芯片与先进存储芯片。 - **拓荆科技**：推出低介电薄膜设备PF-300L Plus nX PECVD及PEALD原子层沉积设备VS 300 Astra-s SiN。 - **盛美上海**：发布“盛美芯盘”产品组合，包含多项原创技术，如单片SPM喷嘴清洗、超临界二氧化碳三维清洗干燥等。 ### 3. 国产半导体设备核心部件加速突破 - **供应链完善**：本土零部件企业在关键子系统上实现突破，如中微公司推出的Smart RF Match智能射频匹配器，用于等离子体生成与控制。 - **技术展示**：启尔机电展出多种磁悬浮泵、阻尼器、流量控制器等核心部件，显示国内企业在设备核心组件领域的进步。 ## 关键信息 - **投资建议**：看好先进封装设备和晶圆制造设备的市场前景，建议关注**北方华创、中微公司、盛美上海、拓荆科技、华海清科、芯源微、ASMPT、精测电子**等企业。 - **风险提示**： - AI落地不及预期 - 技术迭代速度不及预期 - 国产化进展不及预期 - **行业评级**：看好（维持） ## 投资标的 | 企业名称 | 代码 | 评级 | |----------------|----------|--------| | 北方华创 | 002371 | 买入 | | 中微公司 | 688012 | 买入 | | 盛美上海 | 688082 | 买入 | | 拓荆科技 | 688072 | 买入 | | 华海清科 | 688120 | 未评级 | | 百傲化学 | 603360 | 未评级 | | 芯源微 | 688037 | 买入 | | ASMPT | 00522 | 未评级 | | 精测电子 | 300567 | 买入 | ## 投资评级定义 - **买入**：相对强于市场基准指数收益率 $15\%$ 以上； - **增持**：相对强于市场基准指数收益率 $5\% \sim 15\%$； - **中性**：相对于市场基准指数收益率在 $-5\% \sim +5\%$ 之间波动； - **减持**：相对弱于市场基准指数收益率在 $-5\%$ 以下； - **未评级**：未在研究覆盖范围内或缺乏足够研究依据； - **暂停评级**：存在利益冲突或重大不确定性。 ## 证券分析师 - **薛宏伟**：S0860524110001，xuehongwei@orientsec.com.cn，021-63326320 - **荆剑**：S0860514050005，香港证监会牌照：BPT856，kuaijian@orientsec.com.cn，021-63326320 - **贾国瑞**：S0860526030002，jiaguorui@orientsec.com.cn ## 联系人 - **李晋杰**：S0860125070012，lijinjie@orientsec.com.cn，021-63326320 - **雷星宇**：S0860126030013，leixingyu@orientsec.com.cn，021-63326320 ## 相关报告 - AI需求引领，NAND紧缺持续（2026-03-04） - 长鑫科技 IPO 获受理，重视存储产业链国产化机遇（2026-01-04） - 长存三期成立，半导体设备有望国产化加速（2025-09-11）