> **来源：[研报客](https://pc.yanbaoke.cn)** # 机械设备行业点评总结 ## 行业表现 机械设备行业在2026年表现强于大市，与沪深300指数相比展现出更高的收益率。从3月到2月，机械设备行业指数的收益率逐步提升，从-5%增长至40%，而沪深300指数则从-8%增长至20%。整体来看，机械设备行业在2026年的走势明显优于大盘，显示其具备较强的市场表现力。 ## 行业趋势与机会 ### 1. 先进制程与设备多腔化趋势 - **先进制程突破**：国产半导体设备向7nm及以下先进制程突破的过程中，关键零部件同步升级。 - **多腔化演进**：设备厂商正在推动多腔化趋势，即在单一平台集成更多反应腔，以提高单位洁净区内的产出效率。新一代设备平台已从传统的“1个传输模块+2个反应腔”架构升级为“1个中央传输平台+多个主反应腔+多个辅助腔体”架构。 ### 2. 行业扩容与供应链重构 - **市场规模增长**：根据SEMI数据，2025年全球半导体制造设备总销售额达1,351亿美元，预计2026年和2027年将分别增长至1,450亿美元和1,560亿美元。 - **国产替代加速**：随着先进制程及多腔化趋势推进，设备厂对零部件的一致性、稳定性及协同配套能力要求提高，国产零部件企业有望持续提升市场份额。 ## 核心零部件价值分析 - **机械类零部件**：占设备成本的20%-40%，主要包括反应腔、传输腔、静电卡盘、陶瓷件及石英件等。 - **电气类零部件**：占设备成本的10%-20%，包括射频电源、匹配器及等离子源等。 - **机电一体类零部件**：占设备成本的10%-25%，包括机械手、EFEM及温控系统等。 - **气体/液体/真空系统**：占设备成本的10%-30%，包括真空泵、阀门及流量控制系统等。 - **光学类零部件**：在光刻及量检测设备中价值量占比可达55%。 ## 国产零部件企业进展 - **金属零部件**：富创精密、先锋精科已具备7nm及以下先进制程关键零部件量产能力。 - **硅及石英部件**：神工股份刻蚀用硅零部件及凯德石英高端石英制品正加速国产替代。 - **电气类零部件**：英杰电气、恒运昌电源产品已实现批量供货。 - **真空及气体系统**：新莱应材、正帆科技已进入头部半导体设备厂供应链。 - **陶瓷类零部件**：珂玛科技、江丰电子静电卡盘等产品正持续推进客户验证。 ## 投资建议 建议重点关注以下企业： 1. **零部件企业**： - 先锋精科（688605） - 恒运昌（688785） 2. **平台型设备企业**： - 北方华创（002371） 3. **刻蚀设备企业**： - 中微公司（688012） 4. **薄膜沉积设备企业**： - 拓荆科技（688072） 5. **清洗设备企业**： - 盛美上海（688082） 6. **量检测设备企业**： - 中科飞测（688361） - 精测电子（300567） 7. **涂胶显影及键合设备企业**： - 芯源微（688037） 8. **测试设备企业**： - 精智达（688627） ## 风险提示 - **宏观经济波动**：可能影响行业整体需求。 - **终端需求传导压力**：市场变化可能对设备需求产生影响。 - **供应链稳定与技术迭代挑战**：技术更新迅速，供应链稳定性至关重要。 ## 评级说明 - **股票评级**： - 买入：相对同期相关证券市场代表性指数涨幅大于15% - 增持：相对同期相关证券市场代表性指数涨幅在5%~15%之间 - 持有：相对同期相关证券市场代表性指数涨幅在-5%~5%之间 - 卖出：相对同期相关证券市场代表性指数涨幅小于-5% - **行业评级**： - 强于大市：相对表现优于同期相关证券市场代表性指数 - 中性：相对表现与同期相关证券市场代表性指数持平 - 弱于大市：相对表现弱于同期相关证券市场代表性指数 ## 分析师声明 本报告由爱建证券研究所制作，分析师具备证券投资咨询执业资格，报告内容基于公开、合规渠道的信息，表达独立观点，仅供参考，不构成投资建议。 ## 法律声明 本报告为爱建证券有限责任公司所有，未经许可，不得以任何形式翻版、复制、转载、刊登和引用。 ## 版权声明 本报告版权归属爱建证券所有，未经书面许可，任何机构或个人不得使用。