深度报告-2026-07-16-华源证券-中科仪（920186）_半导体真空系统_卖铲人_产业+科研双轮驱动_国产替代正当时_30页_2mb

中科仪（920186.BJ）首次覆盖报告总结

核心内容

中科仪是一家专注于真空技术解决方案的公司，其业务涵盖干式真空泵和真空仪器设备，形成了“双轮并行”的业务体系。公司依托中科院的深厚技术积累，深耕洁净真空与超高真空技术，是国产干式真空泵领域的重要企业。在半导体制造领域，干式真空泵是实现真空环境的关键设备，其国产化率仍较低，市场对国产替代的需求迫切。中科仪在集成电路先进制程及清洁、中等、苛刻工艺中均实现批量应用，是唯一在这些领域实现全面覆盖的国产企业。

主要观点

• 市场机遇：随着半导体设备零部件国产化率持续提升，中科仪作为国产真空泵领域的领军企业，有望在国产替代中占据有利地位。
• 技术优势：公司掌握八大核心技术，包括干泵测试、无油真空获得及精密加工等，具备较强竞争力。
• 产品结构：公司干式真空泵产品分为L、M、H三大系列，适配多种工艺需求，覆盖国内外主流设备厂商。
• 盈利能力：2025年公司实现营收12.91亿元，归母净利润8.44亿元，净利率达65.35%，整体盈利水平稳健。
• 成长空间：公司产品在半导体和光伏等领域需求旺盛，预计未来三年营收将保持增长，2026-2028年归母净利润分别为2.3/2.8/3.5亿元，对应PE分别为86/70/55倍。

关键信息

• 市场表现：截至2026年7月15日，中科仪收盘价为87.02元，总市值为194.78亿元，流通市值为101.88亿元。
• 行业背景：2024年我国集成电路干式真空泵市场规模达52.11亿元，应用以罗茨干泵为主；全球集成电路市场规模预计在2026年达到8,743亿美元。
• 研发投入：公司保持高强度研发投入，2024至2025年研发费用均约1.1亿元，拥有103项发明专利。
• 客户结构：公司前五大客户占营收比例为43.63%，主要客户包括长江存储、长鑫科技、北方华创、隆基绿能等。
• 行业地位：在半导体干式真空泵领域，中科仪是国产第一梯队企业，已通过台积电、SK海力士等国际头部客户验证。

投资逻辑

1. 技术积淀深厚：公司源于中科院，拥有多个国家级研发平台，技术积累深厚，是真空技术攻坚的主力军。
2. 业务模式成熟：公司产品主要面向半导体设计与制造企业，以及科研院所，具备稳定的客户结构和良好的市场渗透。
3. 国产替代需求：在半导体制造中，干式真空泵国产化率较低，公司产品在多个工艺环节实现批量应用，具有显著的市场优势。
4. 产品竞争力强：公司干式真空泵关键指标与国际龙头Edwards等处于可比水平，具备良好的性价比和市场拓展潜力。
5. 成长性显著：公司2021-2025年归母净利润CAGR达89.59%，未来三年预计保持稳定增长，成长空间广阔。

风险提示

• 技术研发风险：公司产品高度依赖技术进步，若研发不及预期，可能影响市场竞争力。
• 国际贸易摩擦：全球贸易环境变化可能影响公司产品的出口及国际合作。
• 市场竞争加剧：随着更多企业进入市场，竞争可能加剧，影响公司市场份额。

盈利预测与估值

可比公司

• 拓荆科技：2026年PE均值为168X
• 华海清科：2026年PE均值为168X
• 芯源微：2026年PE均值为168X
• 京仪装备：2026年PE均值为168X

总结

中科仪在真空技术领域具备显著优势，其干式真空泵产品在半导体和光伏领域均有广泛应用，且已通过国际头部客户验证。随着国产替代进程加速，公司有望在市场中占据更大份额。公司目前处于成长期，具备良好的盈利能力和增长潜力，首次覆盖给予“增持”评级。然而，公司仍需关注技术研发、国际贸易及市场竞争等潜在风险。