> **来源：[研报客](https://pc.yanbaoke.cn)** # 硅基通胀系列-电子气体专题（一）“芯材”长续、特气乘风，国产替代、长坡厚雪 ## 核心内容概述 电子气体是半导体制造中的关键耗材，具有不可忽视的战略价值。其主要分为电子大宗气体和电子特种气体两大类，分别承担不同的制造功能。电子大宗气体如氮气、氦气、氧气等，广泛用于环境气、保护气、清洁气等辅助环节，而电子特种气体则用于刻蚀、清洗、成膜、光刻等核心工艺环节。电子气体具备显著“卡脖子”属性，供应连续性、纯净度和稳定性是其关键要求，约占晶圆制造成本的13%。 ## 主要观点 ### 1. 产业链分析 - **电子大宗气体**：主要包括氮气、氦气、氧气、氢气、氩气和二氧化碳，其中氮气占比超过90%。 - **电子特种气体**：种类繁多，超过100种，常用44种，如三氟化氮、硅烷、六氟化钨等，三氟化氮用量最大，占比约28.4%。 - **下游需求**：集成电路是电子特气第一大应用领域，占比达42%，未来有望进一步提升。 - **技术门槛**：电子气体生产涉及复杂工艺，包括合成、纯化、分析检测、充装等，技术壁垒高。 ### 2. 商业模式分析 - **现场制气模式**：适用于大宗气体，资产重，成本主要由电力和折旧构成，客户通常签订长期合同，保障稳定供应。 - **零售供气模式**：适用于特种气体，资产轻，对物流和配送体系管理要求高，盈利弹性大但波动剧烈。 - **盈利分化**：不同气体品种因技术难度和产品结构，毛利率差异显著，如三氟化氮、六氟化硫毛利率较低，而砷烷、磷烷等高端气体毛利率较高。 ### 3. 市场驱动力与市场空间 - **国产替代提速**：我国电子特气国产化率从2018年的9%提升至2020年的14%，预计2025年提升至25%。 - **制程迭代**：随着制程微缩，刻蚀次数显著增加，带动电子气体用量非线性增长。 - **扩产提速**：国内晶圆厂建设加速，预计2030年晶圆月产能达1480万片，较2025年增长104%。 - **市场空间**：预计2030年国内电子气体市场空间达706亿元，其中电子特气占主导地位。 ## 关键信息 - **电子气体分类**： - **电子大宗气体**：氮气、氦气、氧气、氢气、氩气、二氧化碳。 - **电子特种气体**：三氟化氮、六氟化钨、氯化氢、氟化氢、硅烷、氨气等。 - **纯度等级**：电子气体纯度以“N”表示，N数越高，杂质越少。4N用于普通工业，6N-9N用于先进制程。 - **供应模式**： - **现场制气**：适用于大宗气体，保障连续供应。 - **零售供气**：适用于特种气体，灵活性强，但管理要求高。 - **主要企业**： - **中船特气**：专注六氟化钨和三氟化氮国产化替代。 - **华特气体**：光刻气、高端小品种供应商，进口替代平台型公司。 - **金宏气体**：兼具电子特气布局与氦气弹性，拥有低价氦气资源。 ## 风险提示 - 下游景气度不及预期。 - 产能过剩风险。 - 地缘政治风险。 ## 投资建议 - 关注**中船特气**（六氟化钨与三氟化氮国产化替代）。 - 关注**华特气体**（光刻气、高端小品种、进口替代）。 - 关注**金宏气体**（电子特气与氦气弹性）。 ## 公司估值与财务分析（部分） | 股票简称 | 股票代码 | 货币 | 最新收盘价 | 最近报告日期 | 评级 | 合理价值(元/股) | EPS(元) | PE(x) | EV/EBITDA(x) | ROE(%) | |----------|----------|------|------------|--------------|------|----------------|--------|--------|-------------|--------| | 圣晖集成 | 603163.SH | CNY | 144.00 | 2026/05/15 | 买入 | 114.41 | 2.29 | 62.88 | 47.68 | 31.44 | | 柏诚股份 | 601133.SH | CNY | 41.30 | 2026/06/01 | 买入 | 35.66 | 0.79 | 52.28 | 37.47 | 24.34 | | 亚翔集成 | 603929.SH | CNY | 257.81 | 2026/03/15 | 买入 | 182.00 | 7.28 | 35.41 | 29.70 | 54.40 | | 深桑达A | 000032.SZ | CNY | 24.00 | 2026/05/15 | 增持 | 24.37 | 0.29 | 82.76 | 12.74 | 4.70 | | 太极实业 | 600667.SH | CNY | 32.10 | 2026/04/30 | 增持 | 10.96 | 0.22 | 145.91 | 42.71 | 5.30 | ## 市场空间预测 - **2030年电子气体市场空间**：预计为706亿元，其中集成电路领域占比约70%。 - **电子特气与大宗气体比例**：约为2.5:1。 - **主要增长驱动**： - 国产替代加速。 - 制程迭代带来的非线性需求增长。 - 晶圆厂扩产提速。 ## 总结 电子气体是半导体制造中的核心耗材，具有高价值和长周期属性。其产业链涵盖从矿产资源、空气和天然气的上游到半导体制造、显示面板、光伏、LED等下游应用。随着国产替代、制程迭代和产能扩张，电子气体行业迎来发展机遇，预计2030年市场规模将达706亿元。企业应关注高技术壁垒、高纯度气体的国产化替代，以及氦气等稀有气体的供应弹性。重点企业包括中船特气、华特气体和金宏气体，其在关键气体品种上已实现突破，并逐步获得国际头部客户的认可。